日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100的基本參數(shù)
作為一款針對非芯片半導體制程開發(fā)的產(chǎn)品，日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100在市場上具有重要地位。這款流量控制器不僅能夠滿足不同制程規(guī)范的要求，還具備多種先進的技術特性，因而成為了眾多客戶的優(yōu)選。
一、日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100的基本參數(shù)
SEC-N100質(zhì)量流量控制器的通信方式靈活多樣，支持數(shù)字式和模擬式通信。其中，數(shù)字式通信包括RS-485、DeviceNet和Profibus，而模擬式通信則可以選擇電流或電壓模式。這種多樣化的通信方式使得SEC-N100能夠與其他系列產(chǎn)品兼容，極大地方便了用戶的使用和集成。
在氣體和量程管理方面，SEC-N100也展現(xiàn)了其卓越的靈活性。它能夠方便地在客戶端更改對應的氣體和量程，滿足不同應用場景的需求。這一特性不僅提高了產(chǎn)品的適應性，還為用戶節(jié)省了重新配置和調(diào)整的時間和成本。
該產(chǎn)品的高精度控制性能同樣值得一提。SEC-N100選用了與SEC-Z500系列相同的傳感器和旁路裝置，能夠實現(xiàn)±1.0%的設定流量精度。此外，快速響應時間也是其重要特性之一，在可控流量范圍內(nèi)，響應時間不超過1秒，并內(nèi)置PID參數(shù)，可以根據(jù)需要調(diào)整響應時間。這使得SEC-N100在高要求的工業(yè)環(huán)境中，依然能夠保持穩(wěn)定和高效的性能。
氣閥種類方面，SEC-N100提供了電磁閥和壓電陶瓷閥兩種選擇，分別適用于不同的流量需求。具體來說，電磁閥適用于流量在50SLM以內(nèi)的場景，而壓電陶瓷閥則適用于100SLM和200SLM的場景。此外，產(chǎn)品的密封圈材質(zhì)可以選擇橡膠或金屬，進一步增強了其適應性和可靠性。
在氣路表面處理和接口選擇上，SEC-N100同樣表現(xiàn)出色。雖然氣路表面未經(jīng)拋光處理，但這并不影響其性能。唯一的VCR接口設計也確保了其安裝和連接的簡便性。值得一提的是，SEC-N100滿足RoHS要求，這意味著它在生產(chǎn)過程中嚴格控制有害物質(zhì)的使用，符合環(huán)保標準。
綜上所述，日本HORIBA堀場質(zhì)量流量控制器SEC-N100憑借其多樣的通信方式、靈活的氣體和量程管理、高精度控制及快速響應等特性，成為非芯片半導體制程領域的理想選擇。它不僅具備穩(wěn)定的性能，還能滿足用戶多樣化的需求，為工業(yè)流程的高效運作提供了可靠保障。
二、上海進佳科學儀器有限公司介紹
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