日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500怎么樣
HORIBA堀場(chǎng)的質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500在半導(dǎo)體制程應(yīng)用中展現(xiàn)出了卓越的性能。這款設(shè)備采用了先進(jìn)的技術(shù)和工藝,使其在實(shí)際流量與理論流量之間的差異顯著減少。通過(guò)溫度補(bǔ)償回路傳感器,SEC-Z500能夠有效減少摩爾比熱的影響,從而提高流量測(cè)量的準(zhǔn)確性。此外,多項(xiàng)方程的應(yīng)用和流量輸出特性數(shù)據(jù)庫(kù)的收集,使得這一設(shè)備能夠在不同氣體環(huán)境下保持高度的精確性。
一、日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500怎么樣
在流量路徑設(shè)計(jì)方面,SEC-Z500的內(nèi)部表面經(jīng)過(guò)精細(xì)拋光處理,進(jìn)一步減少了流量差異。采用的PIEZO閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且不會(huì)產(chǎn)生熱量,這一特點(diǎn)不僅提高了設(shè)備的穩(wěn)定性,還延長(zhǎng)了其使用壽命。高精度的加工和不同流量的Bypass配合sensor的設(shè)計(jì),使得每個(gè)流量范圍都能得到精確的控制。
PCB設(shè)計(jì)方面,SEC-Z500采用了數(shù)字式調(diào)整,減少了電位器的數(shù)量,這樣不僅降低了機(jī)械部件的損傷風(fēng)險(xiǎn),還提高了設(shè)備的可靠性。通過(guò)數(shù)據(jù)服務(wù)器更新sensor數(shù)據(jù),確保了設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間使用后的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。此外,校準(zhǔn)工具采用了MolBlock調(diào)流量,使得校準(zhǔn)過(guò)程更加簡(jiǎn)便和精確。
SEC-Z500在半導(dǎo)體制程中的廣泛應(yīng)用,顯示了其在高精度和高穩(wěn)定性方面的顯著優(yōu)勢(shì)。而SEC-N100作為其重要的補(bǔ)充產(chǎn)品,主要針對(duì)非芯片半導(dǎo)體制程而開(kāi)發(fā),能夠滿足不同制程規(guī)范的要求。這一系列的產(chǎn)品不僅在半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出色,同時(shí)也適用于其他高要求的工藝流程。
總的來(lái)說(shuō),HORIBA堀場(chǎng)的SEC-Z500質(zhì)量流量計(jì)憑借其先進(jìn)的技術(shù)和高精度的設(shè)計(jì),為半導(dǎo)體制程提供了可靠的流量控制解決方案。其在溫度補(bǔ)償、流量路徑、PCB設(shè)計(jì)等方面的創(chuàng)新,使得這一設(shè)備在實(shí)際應(yīng)用中表現(xiàn)出色,成為半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的重要工具。
二、上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司介紹
上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司,座落于上海市浦東新區(qū),專業(yè)致力于電子半導(dǎo)體、光纖及生物制藥等行業(yè)的流量控制和過(guò)程連接解決方案。由于專業(yè)的技術(shù)和服務(wù),公司在業(yè)界享有良好聲譽(yù)和廣泛的認(rèn)同。公司已與多家國(guó)際原廠供應(yīng)商建立了長(zhǎng)期的戰(zhàn)略合作關(guān)系。
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